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經濟部計畫-專利讓與公告
專利名稱 國別 證書號 領域別 獲證日期

化學機械研磨對不同研磨墊外形研磨晶圓之有效研磨頻率及有效研磨次數分析方法

美國 US7299107 材料化工 2007/11/20

不同花紋及形貌研磨墊的有效研磨頻率及次數之分析方法

中華民國 I321503 材料化工 2010/03/11

不同花紋及形貌研磨墊的有效研磨頻率及次數之分析方法 

美國 US7991216 材料化工 2011/08/02

 

國立臺灣科技大學專利商品網讓與公告專區

 

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