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經濟部計畫-研發成果公告

國立臺灣科技大學執行經濟部計畫之研發成果公告表

 

《網頁公告日期:2019/5/21》 

 

領域分類: 電資通光、機電運輸、生技醫藥、材料化工

 

研發成果名稱 成果摘要 經濟部計畫編號/名稱/領域分類 登報日
化學機械研磨對不同研磨墊外形研磨晶圓之有效研磨頻率及有效研磨次數分析方法 本發明揭露一種分析化學機械研磨對不同研磨墊外形研磨晶圓的研磨頻率及次數之方法。首先,提供晶圓與研磨墊之圖形,轉換研磨墊圖形與晶圓圖形分別成為一像素矩陣。再將像素矩陣處理成為黑白影像,並依序轉換黑白影像為數值矩陣及二值化數值矩陣,並可計算所有點的有效研磨頻率矩陣。由所得之所有點的研磨頻率及依據位移條件重新定義二值化數值矩陣之座標,可計算經過一時間增量後所有點的新座標以及所有點對應的研磨次數值,形成時間增量之有效研磨次數矩陣。本發明並提出計算所設定的總研磨時間內的有效研磨次數疊加模式。 93-EC-17-A-05-S1-030/機電運輸類  
化學機械拋光裝置及其研磨頭 一種化學機械拋光裝置及其研磨頭。化學機械拋光裝置用以拋光一矽晶圓之表面。化學機械拋光裝置包括一承載平台及一研磨頭。承載平台用以貼附一拋光墊。研磨頭係設置於承載平台之上方。研磨頭包括一夾持元件及一拋光環。夾持元件用以夾持矽晶圓。拋光環係套接於夾持元件及矽晶圓外圍。拋光環具有一內壁表面、一外壁表面及一接觸表面,接觸表面係設置於內壁表面及外壁表面之間。拋光環係以接觸表面抵觸拋光墊。其中至少部分之接觸表面傾斜於承載平台。 94-EC-17-A-05-S1-030/機電運輸類  
研磨機台及其換墊方法 A polishing apparatus and a pad replacing method thereof are provided. The polishing apparatus includes a first clamping element, a second clamping element and a polishing head. The first clamping element includes a first upper clamper and a first lower clamper for clamping a first area of a first polishing pad. The second clamping element includes a second upper clamper and a second lower clamper for clamping a second area of the first polishing pad, the first area and the second area are opposite to each other. When the first polishing pad will be disconnected from the bottom surface of the polishing head and replaced by a second polishing pad, the first clamping element and the second clamping element are released from the first polishing pad. 94-EC-17-A-05-S1-030/機電運輸類  
專利鑑價方法及系統 本發明之方法搜尋利用從本體論(ontology)為基礎的領域知識中萃取的關鍵,搜尋指定專利資料庫的資料。上述關鍵字經上位化後作為種子概念用來擷取在相關主題上的相關網頁。利用文件引用資料及向內向外連結至網頁搜尋結果的連結以決定專利資訊的價值。利用網路分析從資訊網路之結構關係建立專利重要性指標。該指標的變動度作為輸入值以對專利估價。 93-EC-17-A-05-S1-030/機電運輸類  
化學機械拋光裝置及其化學機械拋光方法 一種化學機械拋光裝置及其化學機械拋光方法。化學機械拋光方法至少包括以下步驟:(a)施加一正向壓力於一拋光墊及一矽晶圓之間;(b)帶動矽晶圓以一第一中心軸為軸心自轉,並帶動拋光墊以第二中心軸為軸心自轉;(c)注入一研磨液於拋光墊及矽晶圓之間;(d)調整矽晶圓受到拋光墊的正向壓力大小,以改變拋光墊與矽晶圓之接觸模式,並改變矽晶圓之移除率。 94-EC-17-A-05-S1-030/機電運輸類  
兼顧暫態與穩態響應之模糊邏輯結合滑動模式的控制方法 The invention provides a novel control method combining fuzzy logic control with gain auto-tuning sliding mode control. A control error signal e(t) from the detection mechanism and an error change signal ce(t) are combined together as a sliding variable s(t)=ce(t)+λe(t) and used as the fuzzy input control variable. Using the control method, 2D fuzzy control rule is simplified into 1D fuzzy control rule through the sliding variable definition for enhancing the efficiency of computation and saving computation resources. Accordingly, both the quick transient response and steady state precision positioning can be achieved. The present method can overcome the disadvantages of current controller, which can not reach the desired transient and steady state responses simultaneously. 94-EC-17-A-05-S1-030/機電運輸類  
化學機械研磨設備終點檢測方法 一種化學機械研磨設備終點檢測方法包括下列步驟:首先,提供一連續運轉時間預設值與一終止運轉預設範圍。接著,啟動化學機械研磨設備,對膜層進行研磨。當化學機械研磨設備之運轉時間到達連續運轉時間預設值時,化學機械研磨設備進行一間歇性運轉。之後,偵測化學機械研磨設備對膜層研磨時所產生之一摩擦力訊號回饋值。當摩擦力訊號回饋值落入終止運轉預設範圍時,停止化學機械研磨設備之間歇性運轉。 94-EC-17-A-05-S1-030/機電運輸類  
不同花紋及形貌研磨墊的有效研磨頻率及次數之分析方法 本發明揭露一種有關化學機械研磨對具有不同花紋及形貌的研磨墊研磨晶圓的研磨頻率及次數之數值分析方法,本方法將晶圓與研磨墊的不同花紋及形貌圖像轉換成二值化(binary)影像,以數值矩陣方式運算,僅須計算相對運動下位置變換及不同花紋及形貌轉動變形時的研磨次數的修正模式,並以有效研磨次數疊加模式來估算設定的研磨路徑下,一段研磨時間內的有效研磨次數分佈狀態。提出以最小像素值(LPN)、十字檢查法CSC、直線路徑有效研磨因子比(SLEF)及尺度因子(SF)的研磨次數修正模式,並以此發展出分析出晶圓面上有效研磨次數分佈狀態的步驟流程;藉此可作為未來設計較佳之研磨墊不同花紋及形貌及CMP機台加工參數設定的參考。 95-EC-17-A-05-SI-030/機電運輸類  
氣-液混合驅動釘槍 一種氣-液混合驅動釘槍,包括一氣壓閥、一氣壓缸、一液壓缸、一第一活塞、一第二活塞、一第三活塞、一第一活塞桿、一第二活塞桿以及一回復元件。氣壓閥具有一入氣口,其用以連接於一壓縮氣體源。一氣壓缸連接於氣壓閥,以一第一活塞受氣體壓力產生驅動力,並以一第一活塞桿連結一液壓缸,一液壓缸並具有互相連通的一第二腔室與一第三腔室。第二活塞在第二腔室內沿一軸向往復運動。第三活塞在第三腔室內沿一軸向往復運動。第三活塞的面積大於第二活塞。液壓缸在第二活塞與第三活塞之間充滿一液壓油。第二活塞桿固接於第三活塞,用以藉由第三活塞的帶動而推動一釘子射出。回復元件在第二活塞桿受到第三活塞的作用力後產生一相對的回復力施予第二活塞桿。 95-EC-17-A-05-SI-030/機電運輸類  
分群法TRIZ決策程序方法 The TRIZ decision process of the clustering method proposed by this invention uses the characteristics and invention rules from the contradiction matrix table resulting from massive quantities of patent inferences to find a similar or approximate character group and invention rule group of the physical meanings, and also applies statistics to calculate the number of display times of the groups to be the basic foundation. Apart from the number of display times, Bayes probability, fuzzy object oriented method and Bayes probability combined with fuzzy object oriented method can be used as the system. The reading value is utilized as a foundation for prioritizing the sequence of consideration for the groups, in which the system reading value constructed by different models gives designers lots of options to perform the reading, so as to acquire the undesired result features of the prioritized consideration. 95-EC-17-A-05-SI-030/機電運輸類  
利用線上駕駛控制模型以改善車道偏離警示之技術 A lane departure warning method and system thereof are provided. First a driver model is established, wherein the driver model is established according to a lateral position error of a vehicle being driven and a steering angle generated by a driver for controlling the vehicle. Next, a system identification process is performed on the lateral position error and the steering angle, so as to obtain specific information of the driver model. An estimation process is performed on the specific information and a plurality of raw statistical data, so as to obtain a time to lane crossing (TLC). A decision process is performed on the TLC and a driver drowsiness index, so as to obtain a lane departure warning strategy.    
分散式選擇權交易策略產生系統及方法 本發明揭露一種分散式選擇權交易策略產生系統,其包含資料庫、指標模組、基因演算模組、灰關聯分析模組以及決策樹模組。指標模組可對資料庫的選擇權交易資料計算出技術指標、波動率及移動平均線,而基因演算模組與灰關聯分析模組則可分別連接至指標模組。基因演算模組對指標模組所算出之技術指標進行基因演算,進而獲得第一選擇權交易策略。灰關聯分析模組則可對波動率及移動平均線進行灰關聯分析,進而獲得第二選擇權交易策略。最後,決策樹模組可對第一選擇權交易策略及第二選擇權交易策略分別分配權重,以輸出分散式選擇權交易策略。 99-EC-17-A-34-S1-148/管理技術類  
複合式選擇權交易策略產生方法 本發明揭露一種複合式選擇權交易策略產生方法,其包含下列步驟:利用灰關聯分析法分析各種技術指標,以形成複數個組合交易策略;將各組合交易策略輸入至類神經網路,以獲得各組合交易策略之權重,並將各組合交易策略配合其權重形成權重交易策略;各權重交易策略分別形成上漲區間歸屬及下跌區間歸屬函數;以及,利用模糊系統處理上漲區間歸屬函數及下跌區間歸屬函數,以獲得複合式選擇權交易策略。 99-EC-17-A-34-S1-148/管理技術類  
製備應用於電化學電池之熱穩定性及電化學安定性的新型腈基-苯並咪唑鹽 本發明提供一種如式(I)的腈基苯並咪唑金屬鹽及其合成方法,腈基苯並咪唑具有非常好的熱安定性,該有機鹽對碳酸丙烯酯、碳酸二甲基酯與碳酸乙烯酯/碳酸二甲基酯等烷基碳酸酯有好的溶解度,因而與烷基碳酸酯配製成非水電解液,具有高的導電度和非常好的耐氧化電化學安定性,適合應用於一次和二次電化學電池。 101-EC-17-A-08-S1-183/材料化工類  
能量儲存裝置 本案係提供一種能量儲存裝置,包括:具有一第一單位能量密度及一第一單位放電功率之一能量型(energy type)電極對,包括表面具有一第一活性材料之一第一正極、表面具有一第二活性材料之一第一負極;具有一第二單位能量密度及一第二單位放電功率之一功率型(power type)電極對,包括表面具有一第三活性材料之一第二正極、表面具有一第四活性材料之一第二負極,其中該功率型電極對係電連接於該能量型電極對;一殼體,容置該能量型電極對及該功率型電極對,一第一電解質,設置於該第一正極及該第一負極之間;以及一第二電解質,設置於該第二正極及該第二負極之間,其中該第一電解質與該第二電解質之組成物係為相同。 101-EC-17-A-08-S1-183/材料化工類  
能量儲存裝置 本案係提供一種能量儲存裝置,包含:一能量型電極對,包含:一第一正極;一第一負極對置於該第一正極;以及一第一電解質,設置於該第一正極與該第一負極之間;一功率型電極對,包含:一第二正極;一第二負極對置於該第二正極;一第二電解質,設置於該第二正極與該第二負極之間;以及一殼體,容置該能量型電極對與該功率型電極對。 101-EC-17-A-08-S1-183/材料化工類  
一種製備銀顆粒的方法及核殼結構銀顆粒 本發明提供一種製備核殼及中空結構銀顆粒的方法。於此方法中,混合一銀無機鹽以及一甘胺酸或一澱粉於一極性溶劑中以製備一前驅物溶液,其中銀無機鹽/銀無機鹽加上甘胺酸或澱粉之莫耳百分比為5~50mol%。霧化此前驅物溶液,形成前驅物液滴。以及,加熱此前驅物液滴,使此前驅物液滴裂解製備出銀顆粒。據此,可由前驅物成分控制來細微調整所產生銀顆粒的結構。 101-EC-17-A-11-S1-212/材料化工類  
一種多層膜矽/石墨烯複合材料陽極結構 本發明提供一種具有高電化學特性的矽/石墨烯多層膜複合材料陽極結構,藉石墨烯高導電性的優點改善矽材料的電化學特性,並將該石墨烯及該矽薄膜的厚度皆控制於100 nm以下,以降低充放電過程中各薄膜的體積變化。首先於銅箔電流收集器表面沉積一石墨烯薄膜以形成該結構的底表面,可避免該電流收集器與該矽薄膜的導電度差異過大而造成電化學表現不佳。為防止該矽薄膜因接觸空氣而氧化成不具活性的二氧化矽,故最後亦以一石墨烯薄膜形成該結構的頂表面 101-EC-17-A-08-S1-183/材料化工類  
鋰電池以及鋰電池用的電解液添加劑 一種鋰電池,包括陽極、陰極、隔離膜以及電解液。陰極與陽極分離配置。隔離膜設置於陽極與陰極之間。電解液包括有機溶劑、鋰鹽以及電解液添加劑。電解液添加劑包括由以下式(1)所示的化合物:
式(1),
其中R1至R4各自獨立,為氫原子、鹵素原子或C1至C3鹵烷基,且R1至R4至少有一為鹵素原子或C1至C3鹵烷基。
MOEA Technology Development Program  
鏈延長劑及其製備方法 提供一種鏈延長劑及其製備方法。所述鏈延長劑為包括苯乙烯系聚合物、甲基丙烯酸系聚合物以及環氧系聚合物的無規共聚物,其中苯乙烯系單體:甲基丙烯酸系單體的重量比為約1:1至1:2,且苯乙烯系單體:環氧系單體的重量比為約1:3至1:4。此外,所述鏈延長劑的環氧當量為約200至350克/當量。 102-EC-17-A-11-S1-212/材料化工類  
全像曝光系統 一種全像微影系統,包含光源模組、平台、光纖模組、L形置具以及反射鏡。光源模組用以提供光源光線。光纖模組具有兩個出光口,用以與光源光線耦合,並以出光口分別提供偏振方向相同的兩個偏振光線。L形置具具有第一端、第二端與連接第一端與第二端的轉角部。其中一個出光口相對固定於第一端且朝向平台。第二端具有內側面。轉角部可沿一轉軸旋轉。反射鏡設置於第二端的內側面上,用以反射偏振光線。在轉角部沿此轉軸旋轉時,平台沿此轉軸以相同方向旋轉,使兩個偏振光線入射於置於平台上之樣品的入射角相同。 高功率LED氮化鎵之3D圖案化矽基板製造技術研發計畫  
黏著劑組成物、電極組成物、電極及鋰電池 一種黏著劑組成物,包括溶劑以及聚醯胺酸。聚醯胺酸由式I表示:其中A為芘基、蒽基、苯並[a]芘基、苯並[e]芘基、萘並[2,3-a]芘基、二苯並[a,e]芘基、二苯並[a,h]芘基或萘基,n為0至10,X為大於0且小於1。 101-EC-17-A-08-S1-183/材料化工類  
電極結構 一種電極結構,該電極結構之橫剖面包括:一基板層;一第一塗佈層,位於該基板層上;一第二塗佈層,位於該第一塗佈層上;一第三塗佈層,位於該第二塗佈層上,其中當該第二塗佈層為一無機材料及一有機材料的其中之一時,該第三塗佈層及該第一塗佈層之一為該無機材料及該有機材料的其中之另一。 104-EC-17-A-08-S1-183/材料化工類  
電解液添加劑 本發明為一種用於維持電池低阻抗之電解液,包括:一鋰鹽;一有機溶劑;以及一電解液添加劑,具有式I化合物,
M選自鋰或鈉;Z為含有硼、鋁或磷的路易士酸(Lewis acid);Y選自氫、烷基、含氟烷基、含鹵素C1-C8烷基、含碸基C1-C8烷基、含羰基C1-C8烷基、含硝基C1-C8烷基、硝基(NO2)、腈基(CN)、醛基(CHO)及酸基(COOH)所組成的群組其中之一;以及X選自-CN、-NO2、-CHO、-CH3SO2、-F或-Cl。添加少量如式I的添加劑至一般商用電解液中可以優先在電極材料表面形成良好的固體電解質介面膜(solid electrolyte interface layer;SEI),此SEI膜不會增厚,並維持電池的高導電性與低阻抗,使電池在高電壓充放電環境下有較優異的庫倫效率。
提升國內鋰離子電池產業之下世代材料與分析技術開發5年計畫/材料化工類  

 

 

 

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